Alpha处理器最早由DEC公司设计制造，在Compaq（康柏）公司收购DEC之后，Alpha处理器继续得到发展，并且应用于许多高档的Compaq服务器上。自1995年开始开发了21164芯片，那时的工艺为0.5mm，主频为200MHz。1998年，推出新型号21264，当时的主频是600MHz。目前较新的21264芯片主频达到1GHz，工艺为0.18mm。在该芯片具有完善的指令预测能力和很高的存储系统带宽（超过1GB/s），并且其中增加了处理视频信息的功能，其多媒体处理能力得到了增强。
21264芯片保持了Alpha处理器可以运行多种操作系统的特点，其中包括Tru64UNIX、OpenVMS和Linux等，而在这些系统中，已经有许多成熟的应用程序，这也是Alpha处理器的一个优势。