超精加工
利用装在振动头上的细粒度
油石对精加工表面进行的精整加工（见
切削加工）。超精加工一般安排在精磨工序后进行，其加工余量仅几微米，适于加工曲轴、轧辊、轴承环和各种精密零件的外圆、内圆、平面、沟道表面和球面等。图为外圆超精加工的方法。在充分的冷却润滑条件下，安装在振动头上的细粒度油石以压力
p（一般取0.05～0.3兆帕）与工件接触，并作振幅为
A（一般取1～6毫米）、频率为
f（一般取5～50赫）的纵向振动;工件作转速为
nW的旋转运动(圆周速度
vW一般不超过700米/分，最高可达1000米/分)。因此，油石上的磨粒相对于工件表面的综合运动轨迹为一正弦曲线，这有利于磨粒保持锋利的切削刃和有效地消除工件表面的形状误差。如工件表面比油石长，则油石或工件还应有速度为
vf的纵向进给运动。超精加工过程可分为4个阶段:①开始时油石磨掉粗糙凸峰的强烈切削阶段；②工件粗糙层被磨除后的正常切削阶段；③磨粒变钝，其作用是由切削过渡到摩擦抛光的微弱切削阶段；④油石和工件已很光滑，接触面积大大增加，因而压强下降，磨粒已不能穿破油膜与工件接触，于是进入停止切削阶段。与磨削比较，超精加工能在几秒至几十秒钟内，把工件的
表面粗糙度由
Rα0.63～0.16微米改善到
Rα0.08～0.01微米，并能有效地去除磨削产生的振痕、波纹、螺旋线等缺陷以及极易磨损的凸峰和变质层等，从而大大提高工件的使用寿命。超精加工常用的油石的
磨料粒度为W0.5～W28,粒度越细加工表面越光洁；常用的
切削液为80％左右的煤油加20％左右的机油，并经严格过滤。
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