)各向同性湿式蚀刻
各向同性湿式蚀刻图1 硅的各向同性蚀刻及化学反应式
硝酸与水及亚硝酸（HNO2）反应产生亚硝酸及空穴（h＋），该空穴可使硅氧化。氧化了的二氧化硅（SiO2）可由氟酸溶解。如果氟酸多硝酸少，则最初由硝酸生成空穴的反应将决定整个反应的速度。 凹陷部分由于反应中生成的亚硝酸滞留并继续反应，所以蚀刻后的凹凸明显、棱角尖锐。反之如果硝酸多，则氟酸所及的棱角部分迅速溶解，而凹陷部分则因亚硝酸滞留而不溶解。因此，成为棱角圆滑的平坦形状。 这种湿式蚀刻的反应很难控制。需要足够多的蚀刻液，并要在反应过程中保持其浓度，使之不发生大的变化。（特约撰稿人：江刺 正喜）
