光电显微镜
所属分类：
机械
利用光电原理对
线纹尺的线纹进行瞄准的
长度测量工具。光电显微镜主要用于检定和刻制高精度线纹尺，也用于精密
机床的坐标定位。它是为了解决
读数显微镜瞄准精度不高和不能自动瞄准而发展起来的。至20世纪40年代后期，瞄准精度已达±0.05微米以上。光电显微镜有振子式和差动光度式之分。
振子式光电显微镜 有透射式和反射式两种。透射式用于玻璃线纹尺,反射式用于金属线纹尺。图1为反射式光电显微镜的工作原理。由金属线纹尺反射回来的光成像在以一定频率振动的半透反射镜上，因此线纹像以相同频率往复扫描狭缝。当线纹像的振幅中线与狭缝中线重合时，光电管输出的电信号处于平衡状态，指示表指针指零，表示已经瞄准。如不重合,可利用读数鼓轮移动平行补偿玻璃使其重合(图中未表示),然后从读数鼓轮读出偏移量。这种原理的光电显微镜适用于线纹在静止状态下的瞄准，故又称静态光电显微镜。透射式光电显微镜的工作原理与反射式相同，但需要把光源和聚光镜等移到线纹尺背面，并把半透反射镜改为反射镜。
光电显微镜
光电显微镜 差动光度式光电显微镜 也分为透射式和反射式两种。图2为差动光度式反射光电显微镜的工作原理。从线纹尺线纹面反射回来的光由半透反射镜分为两路,分别将线纹成像于1、2处。调整两狭缝宽度使等于线纹宽度，且与线纹像的相对位置相差一个线纹宽度。当光电管1、2所接收的光通量相等时，指示表指零，表示已经瞄准。采用两个狭缝和两个光电管的原因是为了进行电信号的差值演算，以减小由于电源波动和线纹宽度不均等引起的瞄准误差。这种光电显微镜瞄准速度快，适用于线纹在移动状态下的自动瞄准，故又称动态光电显微镜。
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