光栅测长技术
所属分类：
机械
利用
光栅产生的莫尔条纹测量位移和轮廓形状等的
长度计量技术。测量位移时，将计量光栅副中的光栅尺和指示光栅分别固定在
长度测量工具或
机床等的移动件（例如滑架）和不动件(例如
机床导轨)上。两者相隔一个很小的间隙(一般为 0.05～0.1毫米)。当滑架移动时，出现在光栅副上的莫尔条纹的周期性光强变化，通过光电转换元件转换为正弦波形电信号，经放大、整形、细分、计数和显示等电子部分后即可得出光栅位移量。由光源、计量光栅副和光电转换元件等组成的部件称为光栅式
长度传感器。由光栅式长度传感器和放大、整形、细分、计数和显示等电子部分组成的系统称为光栅测量系统（见图）, 常用具有相位依次差1/4线距的四组线条的光栅作为指示光栅。当以圆光栅副代替长光栅副时，类似的测量系统可用于测量角位移。长、圆光栅测量系统的精确度分别可达 1微米／1000毫米和0.5″/360°以上。随着光栅制造技术和电子技术的发展，从20世纪50年代开始应用光栅测长技术来测量位移。这种方法已用于
三坐标测量机、数字显示
工具显微镜、
渐开线测量仪、齿轮单面啮合检查仪和电子
千分尺等的测量系统中，也常用于
数字控制机床的定位反馈系统和其他机床的定位系统中。70年代又开始利用莫尔轮廓图测量表面轮廓形状和变形等。
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